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2021年06月21日发布

核心组合：三一重工、恒立液压、浙江鼎力、春风动力、先导智能、国茂股份、奕瑞科技、柏楚电子、华峰测控、华测检测

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本周专题1：CVD设备分类解析——PECVD/LPCVD/ALD/CATCVD设备的原理和应用

综述：薄膜制备工艺在超大规模集成电路技术中有着非常广泛的应用，按照其成膜方法可分为两大类：物理气相沉积(PVD)和化学气相沉积（CVD），其中CVD工艺一般可分为LPCVD、PECVD、CATCVD（HWCVD）、ALD（ALCVD）等等。

LPCVD：LPCVD具备较佳的阶梯覆盖能力,很好的组成成份和结构控制、很高的沉积速率及输出量、大大降低了颗粒污染源。

PECVD：PECVD可以实现薄膜沉积工艺的低温化（小于450度），从而节省能源、降低成本、提高产能、减少了高温导致的硅片中少子寿命衰减，可应用于PERC、TOPCON、HJT等多种电池片的工艺中。

ALD：成膜均匀性好、致密无孔洞、台阶覆盖特性好、可在低温进行（室温—400℃）、可简单精确控制薄膜厚度、广泛适用于不同形状的基底、无需控制反应物流量均匀性。

CATCVD：具有低温生长的特性，且不存在等离子体引起的损伤，适应于大面积薄膜的制备。并因为引入了较少的H，因此，在制备成本、化合物半导体、稳定性等方面显示出很强的优势，但由于作用机理非常复杂，目前还有待完善。

本周专题2：工程机械迎来第三次涨价，有望进一步缓和钢材价格上涨压力

近日，受上游原材料涨价影响，国内挖掘机四大品牌——三一、徐工、临工、柳工纷纷发布涨价公告，决定自6月16日起对小挖提价10%，对中挖提价5%，本次涨价有别于第一次涨价，为主机厂直接进行调价，同时四家企业在挖机领域的市占率较高，影响程度预计将大于第一、第二次涨价。

短期看，涨价企业均处于行业前部，具有一定的渠道和品牌壁垒，涨价对客户购买积极性影响有限，并可以有效环节原材料涨价带来的毛利率压力，从长期来看，上调挖掘机价格有利于中国挖掘机械产业链中厂家与代理商共生共荣，有利于挖掘机械产业长期健康发展。

风险提示：HJT降本不及预期，下游投资不及预期，行业竞争加剧，原材料价格波动等。