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2022年09月05日发布

半导体设备公司中报业绩增速亮眼。根据各半导体设备公司披露的半年报来看，设备公司普遍都有较好的营收增长，其中北方华创今年的单季度营收增速稳定保持在50%左右的水平，中微公司增速也较为稳定；盛美上海因为疫情影响，Q1增速较低，但部分延迟的设备在Q2出货，使得Q2增速反弹；拓荆科技Q2单季度营收规模明显增大；芯源微上半年新签订单同比大幅增长。

国产量测设备取得中标。8月部分晶圆厂公布的设备中标中：1）量测与测试设备，上海精测和东方晶源分别中标1台量测设备，其中上海精测中标晋华集成的12寸扫描式电子显微镜，显示国内厂商在逐步突破壁垒较高的量测环节。另外，宁波舜宇仪器中标积塔半导体的4台检测设备，而广立微中标华虹无锡的1台电特性测试仪。2）刻蚀设备中，北方华创中标浙江创芯的1台多晶硅刻蚀系统。3）清洗设备中，创微微电子继续在积塔半导体中标3台槽式清洗机。

上海精测OCD设备通过客户28nm工艺验证，多款设备交付客户。今年7月，上海精测半导体的光学关键尺寸（OCD）测量设备再度通过关键客户28nm工艺验证，顺利进入量产生产线并全面投入使用。OCD设备是图形晶圆检测中基于光学技术的重要设备。精测的突破显示国产量测设备取得积极进展。8月，精测向客户交付了第三批前道光学测量设备，包括光学膜厚测量和OCD设备，其中光学膜厚测量设备适用于28nmFEOL和14nmBEOL节点制程，而OCD设备主要应用于28nm及以上制程。

日本半导体设备销售增速回升，国内晶圆厂逆周期投资提升设备需求。根据SEAJ数据，7月日本半导体设备厂商销售额（3个月移动平均）环比恢复增长，同比增速也提升到约32%，显示半导体设备需求在7月表现较好。近期，中芯国际宣布将在天津新投资一条规划产能10万片/月的12英寸晶圆代工生产线，提供28~180nm的代工服务。中芯国际继续扩产显示国内晶圆厂投资热度不减，对于半导体设备需求也将带来提振。

投资建议：建议关注设备平台型公司北方华创、中微公司等，以及细分赛道领先公司，包括拓荆科技、芯源微、华海清科、盛美上海等；关注量测环节的国产公司突破，标的包括精测电子、中科飞测（未上市）。

风险提示：下游需求不及预期、行业竞争加剧、贸易摩擦风险。