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2022年04月18日发布

国内半导体设备3月招投标数据（仅限于已公布的数据）

国内晶圆厂商招标数据：

华虹半导体：PVD+3台，CVD+24台，EPI+2台，ECP+3台，光刻机+1台，干法刻蚀+24台，湿法刻蚀+5台，前道检测+5台，前道计量+14台，干法清洗+2台，湿法清洗+15台，去胶+9台，刷片机+3台，CMP+4台，退火+8台，离子注入+11台，氧化扩散+2台，后道封装+6台；

上海积塔半导体：干法刻蚀+1台，湿法刻蚀+1台，涂胶显影+1台，氧化扩散+15台，探针台+7台；华润微：湿法刻蚀+2台，湿法清洗+1台；

上海新微：PVD+1台；上海新硅聚合：CMP+1台；

福建晋华：CVD+1台，前道计量+1台；燕东微电子：湿法清洗+7台；

国内设备厂商中标数据：

北方华创：PVD+4台，干法刻蚀+6台，湿法清洗+7台，退火+7台，氧化扩散+1台；盛美半导体：ECP+1台，湿法清洗+5台，去胶+5台；

沈阳拓荆：CVD+3台；上海微电子：退火+2台，缺陷检测显微镜+1台；

华海清科：CMP+3台；中科信电子装备：离子注入机+1台；

中科飞测：前道检测+1台；新益昌：粘片机+121台；

半导体设备行业景气度数据：

半导体设备销售额2021-2023年：全球分别为1030/1140/1134亿美元，同比+44.4%/+11.2%/-0.8%（SEMI21年12月预测）；中国大陆分别为288/343/363亿美元，同比+53.7%/+19.2%/+5.8%（光大证券研究所22年1月预测）。

2022年3月中国台湾半导体设备进口额为28.72亿美元，同比增长0.35%；2021年12月，北美半导体设备出货额为39.17亿美元，同比增长46.10%。

半导体设备行业投资建议：建议关注上市公司包括北方华创、中微公司、盛美上海、至纯科技、华峰测控、长川科技、芯源微、万业企业（凯世通）、光力科技华兴源创、精测电子、晶盛机电、盛剑环境、正帆科技、ASMPacific（H）。

半导体材料行业投资建议：建议关注上市公司包括神工股份、沪硅产业-U、立昂微、雅克科技、彤程新材、晶瑞电材、鼎龙股份、安集科技、上海新阳、江化微、南大光电、华特气体、金宏气体。

风险分析：国产化进度不及预期，晶圆厂扩张不及预期，技术研发不及预期。