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2021年07月19日发布

最新招投标情况：据国际招标网，长江存储本周新增20台工艺设备招标和1台刻蚀设备中标。2017年以来国产化率约16.1%，而今年以来累计中标363台，其中国产设备72台，国产化率约19.8%，国产化率呈快速上升态势。华虹无锡本周新增2台去胶设备中标，新增3台工艺设备招标，近期共中标12台工艺设备（6台热处理和4台刻蚀均为外国厂商，2台去胶设备为屹唐半导体获得订单），至今国产化率约15.1%。

12英寸本土产线的国产主流设备：根据长江存储、华虹无锡等12英寸产线的招投标数据统计，盛美半导体主导清洗设备国产化，华海清科主导CMP国产化，北方华创主导PVD国产化，中微主导CCP刻蚀国产化，中微、北方华创主导ICP刻蚀国产化，沈阳拓荆主导PECVD国产化，芯源微主导Track国产化，万业企业与中科信主导离子注入机国产化，上海精测半导体与中科飞测主导量测设备国产化，北方华创与屹唐半导体主导热处理设备国产化，以及屹唐半导体主导去胶设备国产化。

最新设备招投标消息：

长江存储：本周新增20项招标、新增1项中标。据国际招标网，本周新增20项招标中，有15台CVD、2台热处理、1台PVD、1台刻蚀、1台清洗，新增1台刻蚀设备中标。长江存储近两个月新增55项招标（18台CVD、21台量测、4台热处理、6台光刻机、4台刻蚀、1台PVD、1台清洗），新增43项中标（5台刻蚀、19台去胶、8台热处理、5台量测、3台CMP、3台CVD），近期主要中标国产设备商为屹唐半导体、北方华创、华海清科。2017年至目前的累计国产化率约16.1%。

上海积塔：本周新增0项招标、新增0项中标。据国际招标网，上海积塔近一个月新增23台工艺设备招标（4台CVD、2台CMP、2台刻蚀、4台热处理、4台清洗、1台去胶、4台量测、1台涂胶显影、1台光刻），新增0项中标。2019年至目前的累计国产化率约31%。

华虹无锡：本周新增3项招标、新增2项中标。据国际招标网，本周新增3项招标中，有2台清洗设备、1台量测设备，新增2项中标均为屹唐半导体的去胶设备。2018年至目前的累计国产化率约15.1%。

合肥晶合：本周新增0项招标、新增0项中标。据国际招标网，合肥晶合近一个月无招投标新增情况，2016年至目前的累计国产化率约2.5%。

上海华力(二期)：本周新增0项招标，新增0项中标。据国际招标网，2016年至目前的累计国产化率约10.6%。

中芯绍兴：本周新增0项招标、新增0项中标。据国际招标网，中芯绍兴近一个月仅新增2台CVD设备招标，2018年至目前的累计国产化率约17.7%。

近期晶圆厂扩产消息：

绍兴中芯：正式启动IPO辅导；一期扩产且正在筹划二期项目建设。辅导期大致为2021年7月至2021年10月。中芯集成将在一期基础上，投资61.3亿元，实施项目扩产，产能提升至10万片/月；同时联合西安交通大学、西安电子科技大学宽禁带半导体研究团队启动计划投资160亿元的二期6英寸化合物器件晶圆制造和8英寸特色工艺生产线项目。

广州粤芯：完成二期项目融资，主要将用于粤芯半导体二期项目建设。粤芯一期项目于2018年3月动工、2019年9月建成投产、2020年12月实现满产运营，二期项目新增月产能2万片，目前设备正在陆续搬入，预计2022年第一季度投产。

投资建议：

半导体设备组合：中微公司、北方华创、芯源微、华峰测控、精测电子、万业企业、长川科技、晶盛机电

风险提示

疫情影响超预期；半导体设备国产化进程放缓；美国进一步向中国禁售关键半导体设备。