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2021年07月23日发布

据国际招标网中标数量统计，目前国内主要的4条12寸晶圆产线的整体国产化率不足15%。分设备类型来看，去胶设备的国产化水平最高，接近70%，CMP、刻蚀、清洗、热处理等工艺设备类别的国产化率均超20%，PVD设备整体国产化率近15%，CVD、离子注入、量测、光刻、涂胶显影、镀铜等设备的国产化率均不足5%。

报告要点

12英寸产线的工艺设备国产化平均水平接近13%。据中国国际招标网数据统计，长江存储、华虹无锡、合肥晶合、上海华力二期四个项目共累计采购数千台工艺设备，整体国产化率接近13%。

清洗设备：盛美半导体在12英寸国产清洗设备占据绝对领导地位。据中国国际招标网数据，4个项目共计采购接近四百台清洗设备，按中标数量对应供应商排序依次是DNS、盛美半导体、TEL、Lam、JET、北方华创、芯源微。盛美半导体的市场份额仅次于DNS，是12英寸清洗设备国产化的主导者，占据90%以上的国产清洗设备，国产厂商还包括北方华创、芯源微。

镀铜：盛美半导体是国内镀铜设备的唯一国产供应商。据中国国际招标网数据，4个项目共计采购近三十台镀铜设备，按中标数量对供应商排序依次是Lam和盛美半导体。

CMP：华海清科目前是国内12英寸CMP设备的唯一供应商。据中国国际招标网数据，4个项目共计采购的一百七十多台CMP设备，按中标数量对供应商排序依次是AMAT、华海清科、荏原，华海清科是仅次于AMAT的第二大CMP供应商。

PVD：北方华创是国内PVD设备的唯一供应商。据中国国际招标网数据统计，4个项目共累计采购的一百多台PVD设备，按中标数量对供应商排序依次是AMAT、北方华创、SPTS等，北方华创在部分12英寸产线的PVD设备中占比超过20%，是仅次于AMAT的第二大PVD供应商。

刻蚀：中微公司、北方华创、屹唐股份三家合计实现刻蚀设备国产化率超20%。据中国国际招标网数据，4个项目共计采购的六百多台刻蚀设备，按中标数量对供应商排序依次是Lam、TEL、中微公司、AMAT、北方华创、屹唐半导体等。中微公司、北方华创、屹唐半导体市占率合计占比超20%。其中中微公司在部分12英寸产线上的CCP刻蚀的订单份额达到35%左右。

热处理：北方华创、屹唐半导体共实现热处理设备国产化率近23%。据中国国际招标网数据，4个项目共计采购的五百多台热处理设备，按中标数量对供应商排序依次是TEL、北方华创、AMAT、日立国际电气、屹唐半导体等，国产化率近23%，北方华创贡献80-90%的国产热处理设备。

CVD：沈阳拓荆专注于PECVD、ALD、SACVD等，而盛美半导体等实现LPCVD国产化。据中国国际招标网数据，4个项目共计采购的九百多台CVD设备，按中标数量对供应商排序依次是AMAT、TEL、Lam、Kokusai、沈阳拓荆、ASM、盛美股份等，国产化率不足5%，但拓荆科技2018-2020年营业收入依次是0.71、2.51、4.36亿元，CVD业务发展十分迅速。